瑞士Paul Scherrer研究所(PSI)的研究人员开发了一种新的EUV-IL装置，该装置采用基于反射镜的技术，突破了传统基于光栅方法固有的衍射效率对衍射极...

本文转自【中国新闻网】； 中新网6月12日电 综合外媒报道，当地时间11日晚，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)在社交平台发文，悼念其创始人之一维姆・特鲁斯特(W...